據陸媒《杭州日報》與《財聯社》今 ( 14 ) 日報導，近日，作為基地首批簽約孵化專案之一，中國全國首台國產商業電子束光刻機「羲之」已進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標誌著量子晶片研發從此有了「中國刻刀」。
媒體記者描述，在測試現場，浙大余杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著，一台模樣酷似大型鋼櫃的機器正在做應用測試，電子顯示幕上不斷閃爍著即時參數。
「這不是普通的機器，而是一支能在頭髮絲上雕刻出整座城市地圖的『奈米神筆』！」團隊負責人告訴記者，依託省重點實驗室，這台研究院自主研發的新一代 100kV 電子束光刻機「羲之」已正式投入市場。
不過由於中國媒體曝露的相關細節不多，這究竟是中國的大內宣，或者是已有突破性發展，狀況仍然有待證實。
荷蘭半導體製造商 ASML 的光刻機。 圖 : 翻攝自 ASML 官網
