中國最近高興宣稱已突破 8 奈米的晶片製程，卻慘遭自家中媒打臉說晶片的精度其實只有 65 奈米。
中媒《芯智訊》近日報導，有人一看到中國國產光刻機「套刻 ≤8nm」就認為這是 8nm，高興宣傳「可生產 8 奈米晶片」，突破美國封鎖，其實是錯誤的。
中共工信部於 9 月初公佈「首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄」，列出全新自製 DUV 光刻機，解析度為 ≤65nm，「套刻精度」 ≤8nm。
《芯智訊》解釋說，氟化氪光刻機其實就是老式的 248nm 光源的 KrF 光刻機，解析度為 ≤110nm，套刻精度 ≤25nm；披露的這款是乾式 DUV 光刻機，而非更先進的浸沒式 DUV 光刻機（也被稱為 ArFi 光刻機）。
由中國工信部的參數顯示，此DUV 光刻機解析度為 ≤65nm，套刻精度 ≤8nm，仍並未達到可以生產 28 奈米晶片的程度。
《芯智訊》批，不要把「套刻精度」跟「光刻製造製程節點」水準搞混了。「光刻精度」是光刻機的解析度，65nm 的解析度單次曝光能夠達到的工藝製程節點大概就在 65nm 左右。「套刻精度」則指的是每一層光刻層之間的對準精度。
《芯智訊》指出，這個 65nm 的光刻解析度、「套刻精度」 ≤8nm，最多能夠做到 55nm 製程。
這水準，荷蘭ASML（ 艾斯摩爾 ）公司 18 年前推出的 XT:1450 早就已經做到了。
受美國政府擴大對中國晶片禁令影響，為維持營運，中國晶片製造商中芯國際（SMIC）在去年 11 月份就宣布將增加 16 億美元的支出，提高訂購設備的預付金。 圖：翻攝自中芯國際官網(資料照)
