（中央社記者張建中新竹2日電）晶圓代工廠台積電積極擴充先進製程產能，預計2023年5奈米系列製程總產能將較2020年大幅成長超過4倍。

台積電舉行線上技術論壇，營運組織資深副總經理秦永沛表示，為滿足客戶需求，台積電包括16奈米、7奈米及5奈米的先進製程產能持續增加，估計2018年至2021年年複合成長率將超過30%。

秦永沛指出，台積電7奈米於2018年領先量產，因應客戶需求，快速提升產能，預估2021年7奈米系列製程產能將較2018年成長超過4倍。

台積電5奈米於2020年領先業界量產，秦永沛說，因應客戶強勁需求，2023年包括4奈米的5奈米系列製程產能將會比2020年大幅成長超過4倍。

秦永沛表示，5奈米製程大量採用極紫外光（EUV）製程，2020年台積電裝設EUV機台數量占全球50%，累積晶圓數量更占全球65%。

台積電同步擴充特殊製程產能，秦永沛指出，特殊製程占台積電成熟製程比重持續成長，2018年約占45%，今年估計可望達60%，2021年特殊製程產能將比去年增加12%。

秦永沛表示，位於台南的晶圓18廠第1、2、3、4期是5奈米生產基地，其中，第1、2、3期已經開始量產，4期興建中。晶圓18廠第5、6、7、8期是未來3奈米生產基地，目前都在規劃中。

台積電台南廠區的晶圓14廠第8期，將作為特殊製程製造基地，秦永沛指出，台南廠區還有先進封裝技術生產基地，目前興建中。

在新竹廠區方面，秦永沛說，考量3奈米及2奈米研發和生產要有更好的效率，原先計劃的研發中心將改為晶圓12廠第8期及第9期，其中，第8期興建中，預計今年會完成。台積電表示，晶圓12期第8期及第9期仍將以研發為主，並不是改為生產線。

秦永沛指出，台積電還將在新竹興建新晶圓廠，作為2奈米生產基地，目前正在進行土地取得程序。至於美國亞利桑那州廠第1期正興建中，預計2024年量產。

先進封裝部分，秦永沛表示，台積電目前有4個先進封裝及測試廠區，提供客戶凸塊、晶圓測試及後段先進3D封裝業務。

為滿足客戶成長需求，秦永沛指出，台積電在竹南進行產能擴充，AP6廠將提供前段與後段先進3D封裝與測試服務，總面積是現有4個廠區總面積的1.3倍，目前正在興建AP6A廠，預計2022年下半年量產SOIC。

秦永沛說，台積電提供的CoWoS將可大幅提升先進高效能運算系統的運算速度，預估2018年到2021年產量年複合成長率將達25%，客戶新產品投入量產數目年複合成長約30%。

秦永沛指出，台積電先進測試機台數量2018年至2021年年複合成長約16%，並增加自製測試探針卡的能力，年複合成長將達33%。（編輯：郭無患）1100602