韓國清州市SK海力士(SK hynix)半導體工廠今天(1日)上午發生火災,火勢雖經自動灑水系統啟動撲滅,但有毒「氟化氫」(HF)氣體洩漏,造成多名員工緊急送醫治療,廠方也隨即疏散約3600名員工。官方訊息稱生產線未受重大影響,已恢復正常作業。
據《路透社》(Reuters)報導,事故發生於當地時間上午約10時30分左右,位於SK海力士清州4號園區(Campus 4)M15與M15X廠房連接的6樓氣體室發生火災,廠房內自動灑水系統啟動滅火,但仍造成約5ppm濃度的氟化氫氣體洩漏。
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《韓聯社》(Yonhap News Agency)報導指出,多名員工因吸入或接觸洩漏氣體出現不適,初步有6至7人被送往醫院或廠內診所檢查治療。部分韓國媒體如《韓國廣播公司》(KBS)與《文化廣播公司》(MBC)則報導送醫人數可能達11人,主要症狀為眼睛刺痛。
氟化氫為半導體製程常用高毒性氣體,具強腐蝕性與刺激性。SK海力士回應表示,疏散行動是依據安全手冊執行的預防措施,經檢查後多數員工並無異常症狀。廠方強調核心半導體生產線未受影響,作業已恢復正常。
消防當局已派員調查事故確切原因與洩漏細節,目前無進一步傷亡報告。