國內半導體業居世界龍頭，不過台灣廢棄物清理法規過嚴，限制了回收處理產業發展，投入矽泥與銅廢棄物污染技術，也仍然落後。對此，環境部資源循環署表示，目前除了有多項創新措施，在制度方面也利用資源循環促進法立法導入最適可行循環技術制度，今年起並協助資產業低碳轉型，明年也將規劃經費協助產業創新研發。

環境部資源循環署說明，台灣半導體業在全球具高市占優勢，其產出廢棄物，可自行或委託處理外，也可依目的事業主管機關再利用管理辦法規定，循公告或與技術夥伴共同申請許可再利用。為提升產業多元化循環利用，資源循環署自108年起函頒10種定型化資源循環模式，111年參與的業者超過800家，年減廢棄物量達108萬噸。

環境部進一步指出，自去年起輔導有意願的業者串聯上、中、下游事業，提出回到製程或循環利用的方式，參與資源循環網絡計畫，今年更提出化學品租賃示範輔導以加強供應商負起化學品生命週期管理。資源循環署並研訂資源循環促進法，納入多元化資源循環運作模式，提升資源使用效益，導入最適可行循環技術制度，拓展資源循環永續利用管道。

除此之外，為了促進廢棄處理業發展，循環署今年進行輔導資源循環產業建立產業基線資料、提供碳排放分析、建構業者能力及媒合導入自動化、智慧化、低碳化轉型，並規劃於明年提出補助計畫，挹注經費徵求資源循環的創新研發，擴大補助範圍，除了過去的應回收廢棄物之外，將補助範疇增加一般及事業廢棄物，增加補助經費，每年從五千萬增加至一億元，最後也增列補助對象。