從史丹佛大學的一分鐘沉默,到海森堡測不準原理,以及今日台灣的先進半導體製程。

一分鐘的沉默

1997 年,我在美國史丹佛大學攻讀應用物理研究所一年級。

那一年,史丹佛大學物理學教授朱棣文(Steven Chu),因為利用雷射冷卻及捕捉原子的研究,與另外兩位科學家共同獲得諾貝爾物理學獎。

對當時仍是研究生的我而言,能夠有機會走進這位新科諾貝爾獎得主的辦公室,自然是一件令人興奮的事情。

將近三十年過去了,我已經記不起當天談話的所有細節。但朱棣文教授問我的一道問題,我至今仍然記得。

「如果用透鏡將雷射光聚焦,藍色雷射與紅色雷射,哪一種可以聚焦到更小的光點?」

聽起來,這似乎是一道很簡單的物理題。

我當時已經學過電磁學,也學過量子力學。我知道藍光的波長比紅光短,也知道光會產生繞射現象。可是,站在一位剛剛獲得諾貝爾獎的物理學家面前,我一時竟然無法把這些知識連結起來。

我沉默了大約一分鐘。

然後,朱棣文教授開始解釋。令我印象深刻的是,他並沒有從傳統光學的繞射公式開始。

他選擇了一個我原本以為只屬於量子力學的概念:海森堡測不準原理(Heisenberg's Uncertainty Principle)。

這個解釋,竟然讓我記住了將近三十年。

為什麼藍光可以聚焦得比紅光更小?

很多人第一次接觸海森堡測不準原理,是在中學或大學的量子物理課堂。

這個原理告訴我們,一個粒子的位置與動量,其不確定程度不能同時任意縮小:

Δx · Δpₓ ≥ ℏ/2

其中,Δx 代表粒子在 x 方向的位置不確定性,Δpₓ 代表同一方向的動量不確定性,而 ℏ 是約化普朗克常數。

簡單來說,如果我們希望把粒子的位置限制在一個非常狹窄的範圍,就必須容許它的動量具有足夠大的不確定性。

這個原理通常用來解釋電子在原子內的行為。但朱棣文教授當年卻用它來解釋雷射光的聚焦。

首先,我們知道光子的動量與波長有以下關係:

p = h/λ

其中 p 是光子的動量,h 是普朗克常數,λ 是光的波長。

藍光的波長比紅光短,因此藍光光子的動量比紅光光子大。

接下來,想像一束雷射光沿著前方傳播,經過透鏡後,光線從不同角度匯聚到一個焦點。

雖然光主要向前傳播,但聚焦的過程也涉及垂直於傳播方向的動量分量,我們稱之為「橫向動量」。

假設透鏡能夠收集的最大光線角度為 θ,那麼橫向動量的可用變化範圍,大約與以下數值成正比:

Δpₓ ∼ p sin θ

代入光子的動量公式:

Δpₓ ∼ (h/λ) sin θ

現在,關鍵出現了。

在相同的聚焦角度下,藍光因為波長較短、光子動量較大,所以可以具有更大的橫向動量分布範圍。

根據海森堡測不準原理,較大的橫向動量不確定性,容許較小的橫向位置不確定性。

藍光可以具有更大的橫向動量分布,因此能夠被聚焦到比紅光更小的光點。

當然,這並不代表只要增加動量的不確定性,就一定能得到更小的光點。光學系統仍然必須適當控制光波的相位與傳播方向。

但這個原理告訴我們,為什麼較短的波長可以達到更高的空間解析度。

有趣的是,我們也可以完全不使用量子力學,而是透過古典電磁學的繞射理論,得到相同的結論。兩套看似不同的物理理論,竟然在這裡相遇。

從 CD、DVD 到藍光光碟

其實,讀者不必等到台積電的 2 奈米製程,才能在日常生活中看到這個物理原理的應用。

不知道大家是否還記得,當年從 CD、DVD 進步到 Blu-ray Disc(藍光光碟)的年代?

CD 使用波長約 780 奈米的紅外光,DVD 使用約 650 奈米的紅光,而 Blu-ray 則使用約 405 奈米的藍紫光。

為什麼要改用藍紫光?

答案與朱棣文教授當年問我的問題完全相同:因為波長越短,就越有機會將光聚焦到更小的範圍,從而讀取更細密的資料記錄。

當然,藍光光碟容量的提升,也涉及光學鏡頭的數值孔徑、光碟結構及其他工程改良。

從一片可以儲存約 700 MB 的 CD,到 4.7 GB 的單層 DVD,再到 25 GB 的單層藍光光碟,背後竟然也藏著海森堡測不準原理與光學繞射的故事。

而當工程師把這種追求更高光學解析度的思路推向更極端的尺度,我們便來到了今日先進半導體微影技術的世界。

從海森堡到台積電的 2 奈米製程

將近三十年後,每當我讀到台積電先進半導體製程的新聞,特別是 5 奈米、3 奈米,以及 2 奈米製程,我總會想起朱棣文教授當年的問題。

現代半導體製造有一項極為重要的技術,稱為「微影製程」(Photolithography)。

我們可以把它粗略想像成一種極度精密的光學印刷技術。工程師利用光學系統,將電路圖案轉移到晶圓上的感光材料,再透過後續製程,逐步製造出複雜的電晶體與電路結構。

問題是:如果希望製造越來越細小的電路,光學系統究竟能夠分辨多小的圖案?

在微影技術中,有一個常見的瑞利解析度關係式(Rayleigh Resolution Formula):

CD ≈ k₁λ/NA

其中,CD 代表可印製圖案的關鍵尺寸,λ 是光的波長,NA 是光學系統的數值孔徑,而 k₁ 則與成像及製程技術有關。

讀者不必記住這些符號,只需要注意一件事情:光的波長 λ 出現在分子。

在其他條件相近的情況下,波長越短,就越有機會印製出更精細的圖案。

過去,半導體微影設備曾經廣泛使用 248 奈米及 193 奈米的深紫外光(DUV)。到了今天,先進製程則大量運用波長約為 13.5 奈米的極紫外光(Extreme Ultraviolet,EUV)。

13.5 奈米的波長,比我們肉眼看得見的藍光還要短得多。

當然,EUV 微影設備並不是簡單地把一支雷射筆換成更短波長的版本。實際上,這些設備需要利用高功率雷射轟擊錫液滴,產生能夠發射極紫外光的電漿,再透過極度精密的反射鏡系統,將光導向晶圓。

這是一項集合光學、材料科學、電漿物理、機械工程與精密控制的龐大工程成就。

另外,也需要澄清一個常見的誤解。所謂「2 奈米製程」,並不代表晶片上每一個電晶體結構都只有 2 奈米,也不代表設備使用的是 2 奈米波長的光。

現代半導體製程的命名,主要代表不同技術世代,而不是某一個固定的物理尺寸。

但即使如此,微影技術面臨的基本物理挑戰,仍然沒有改變。

我們希望製造越小的結構,就必須設法取得越高的空間解析度。

而縮短光的波長,正是其中一項重要的方法。這不就是朱棣文教授在 1997 年問我的那一道題目嗎?

原來,測不準原理不只是「測不準」

多年以後,我又逐漸理解了這個問題更深一層的意義。

海森堡測不準原理,並不是單純因為我們的測量儀器不夠精密。它反映的是波動現象本身的一項基本數學特性。

在數學上,這與傅立葉轉換(Fourier Transform)有密切關係。

如果希望把一個波動限制在非常狹窄的空間範圍,就需要結合更廣泛的空間頻率成分。

在量子力學中,動量與波向量之間存在以下關係:

pₓ = ℏkₓ

因此,古典波動理論中的空間分布與波向量分布,便對應到量子力學中的位置與動量不確定性。

我們可以用電磁波來描述雷射聚焦,也可以用光子的動量來理解同一件事情。兩種描述背後,存在著共同的數學結構。

我當年在課本中,分別學過這些物理知識。朱棣文教授卻用一道看似簡單的問題,把它們連結在一起。

一位諾貝爾獎得主,沒有寫下任何公式的物理課

現在回想起來,我特別欣賞朱棣文教授當年解釋問題的方法。

他完全可以使用傳統光學的繞射公式,直接告訴我藍光為什麼可以聚焦得更小。但他沒有這樣做。

他選擇從海森堡測不準原理出發。

這讓我逐漸體會到,學習物理不只是記住多少公式,也不只是能夠解答多少考試題目。

更重要的是,我們能不能在看似毫不相關的現象之間,辨認出相同的物理原理。

一個在量子力學課本裡學到的概念,竟然可以解釋雷射光的聚焦。

而同一個物理洞見,又可以幫助我們理解數十年後,台灣半導體產業所面對的工程挑戰。

這也是基礎科學迷人的地方。

我們很難預測,今天在課堂上學到的一個抽象概念,未來會在哪一個產業、哪一項技術,甚至哪一段人生經歷中,重新出現。

有時候,最珍貴的學習從答不出來開始

當年站在朱棣文教授面前,沉默了一分鐘,對一位年輕的物理研究生而言,實在不是什麼值得炫耀的學術表現。

但將近三十年後,我反而開始珍惜那一分鐘。

因為那一分鐘,讓我意識到自己雖然學過許多物理公式,卻還沒有真正理解它們之間的聯繫。

而朱棣文教授的解釋,讓我得到了一個可以持續使用數十年的思考方法。

今天,當我們談論教育,往往非常重視學生能不能迅速回答問題。

尤其在人工智慧日益普及的年代,幾乎任何知識性問題,都可能在幾秒鐘內得到一個看似完整的答案。

但我想,真正值得培養的能力,也許不只是回答問題的速度。

而是能否從一個問題,看見另一個問題。從一個物理現象,理解另一項科技。從一本教科書裡的抽象公式,發現它與現實世界的關係。

如今,每當我讀到台積電先進製程的新聞,腦海裡偶爾仍會浮現 1997 年史丹佛大學的那間辦公室。

我記得一位答不出問題的年輕研究生。

也記得一位剛剛獲得諾貝爾獎的物理學家,耐心地向他解釋光子的橫向動量不確定性。

那場談話只有短短幾分鐘,但其中的物理道理,卻陪伴了我將近三十年。

有時候,最難忘的一堂課,正是從我們答不出來的那一道題目開始。

註:本文根據筆者 1997 年在史丹佛大學與朱棣文教授見面的個人回憶撰寫。文中的物理推導與半導體製程說明,為方便今日讀者理解而補充。

英文原文

作者:數位楠,曾經是一個被電腦科學分心的物理學生,如今仍在尋找:在 AI 時代,人之所以為人的核心是什麼。