韓國《朝鮮日報》刊載該報評論委員兼科技部次長郭守根(Kwak Soo-keun)分析半導體工廠在地震中的防護進化。回顧 1999 年台灣發生 7.3 級強震時,台積電的產線一度全面停擺;然而到了 2024 年,面對 7.2 級強震來襲,台積電不僅沒有停電,廠房也未受損,甚至在震後僅短短 10 小時內,就有 70% 的生產設備恢復運轉。這 25 年來,半導體產業已經徹底學會如何與地震共存。

郭守根指出,一般建築的抗震設計主要為防止倒塌以爭取逃生時間,但這對半導體廠而言遠遠不夠。在生產晶圓的無塵室中,排列著無數極精密設備,包含每台價值高達數千億韓元的極紫外光(EUV)曝光機,以及蝕刻、沉積與清洗機台。即便廠房建築完好,只要機台位置或水平出現微小偏差,生產就會完全停滯。此外,電力、真空系統、特殊氣體與超純水的供應若瞬間中斷,正在加工的晶圓將全數報廢。

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為此,現代半導體廠導入了能夠消散衝擊的減震技術。為了降低震動傳遞,廠房在地面與建築結構之間鋪設由橡膠與鋼板製成的彈性墊,並於內部安裝減震裝置。無塵室的地板設計更能阻絕平時的微震,一旦系統偵測到地震訊號,自動安全機制就會瞬間切斷化學物質供應。

然而,確認建築結構安全只是復原作業的開端。工程師必須針對超精密的曝光機重新校正光學系統與機台水平,同時逐一檢查生產線上的晶圓是否受損,以及超純水與氣體管線的完整性。在 2024 年的強震中,台積電雖然核心設備安然無恙,但部分晶圓報廢仍造成約 1,200 億韓元的經濟損失。

近日,位於日本熊本的台積電廠房同樣挺過了 7.1 級強震,並已開始分階段復工。文章最後強調,無論是守護台灣的「矽盾」,還是支撐日本的半導體復興,背後依靠的不僅是先進的製程電路,更是在危機發生時能夠減緩衝擊、安全停機並迅速復工的強大工學實力。