一家曾經慘虧半個資本額、連無塵室都沒有的南部小廠,如何擊敗國際大廠,成為晶圓代工龍頭先進製程與 CoWoS封裝,不可或缺的光罩微粒檢測守門員?

在先進半導體製程中,光罩扮演猶如底片的角色,將細微的電路圖案透過光學微影,大量複製在晶圓上。因此,光罩上一旦出現沾附微塵或電路誤差等瑕疵,就會讓整批晶圓淪為不良品。

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為了確保每一塊光罩的完美狀態,晶圓代工廠必須採用精密的自動光學檢測設備,揪出有時可能比頭髮還細小成千上萬倍的瑕疵。

即將在5月上櫃的華洋精機,正是全球晶圓代工龍頭的EUV光罩AOI微粒(Particle)設備獨家供應商,每年有8成營收來自這家國際大廠。

「我們的檢測精度達0.2微米,能抓出比人類頭髮小1千倍的微粒。」華洋總經理蕭賢德自豪地說明,自家公司透過將檢測精度做到極致,成功突破國際AOI大廠壟斷,殺出一條屬於台廠的生路。

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成立於2012年的華洋,秉持著「讓南部孩子不用北漂」的初衷,選擇落腳台南,創業不久就搭上了觸控面板檢測熱潮,研發出「表面掃描技術(SFO)」,透過背面掃描、自行設計光學模組等方法,排除iPhone手機面板瑕疵被電路擋住或反光干擾的痛點,成功拿下GIS、TPK等觸控大廠訂單。

垂直整合策略 奠定成功基礎

蕭賢德分析,華洋早年就採取「垂直整合」策略,與廠商合作設計鏡頭、光學機構,得以在照片成像前就過濾雜訊,使得拍出的影像不會被反光干擾,能精準抓出指紋、酒精痕等極細微瑕疵。

儘管擁有獨門技術,但2018年起台灣光電產業轉弱、加上華洋前總經理爆出操守問題,讓公司遭遇雙重打擊,一度累積虧損超過半個資本額。在危機中接任總經理的蕭賢德,甚至得將內部的工程師派到其他公司接案打工,賺取現金。

但轉機也在公司陷入谷底時浮現。

當時有一名客戶請求華洋協助設計半導體產線用的光罩微粒檢測AOI設備,由於光罩的主要成分石英與觸控面板的玻璃相近,華洋的技術恰好無縫接軌。

蕭賢德當初並不知道,該客戶後來竟將設備賣進晶圓代工大廠;同一年,華洋也輾轉透過人脈接觸這家大廠,尋求進軍半導體產業的門票,雙方一談才發現這家大廠早就用過華洋設計的設備,兩方就此接上線。

為評估合作可能,晶圓大廠隨即派團隊南下查廠,但當時華洋連無塵室都沒有,「來訪的人直搖頭說,你們所有的評估都是零分。」蕭賢德苦笑回憶。

儘管設備簡陋,但晶圓大廠看中華洋專做光罩檢測,不論檢測速度或是價格,都勝過業務「包山包海」的國際大廠KLA,因此仍決定協助華洋成長,甚至給予部分預付款支持公司營運。2019年,華洋的DUV光罩微粒檢測設備,打入了晶圓廠的28、14奈米供應鏈,隔年正式轉虧為盈;後續甚至接到與該客戶主要生產光罩的廠區合作機會。

不過,這一段升級路走得並不輕鬆。

(本文獲今周刊授權轉載,更多內容,請參閱最新一期《今周刊》(第1531期)

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